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气体纯化系统
在对高细密光通讯、激光器、传感器器件举行同轴封装或蝶形封装时,不但需要密闭的惰性气体情形,同时还需要坚持箱体内的水氧含量小于5PPM,为了维持水氧含量稳固坚持在划定的数值区间,就需要加装气体纯化系统,该系统能将手套箱内的气体不中止地循环,然后经由气体净化装备把手套箱体内的水氧和有机溶剂杂质除去。
- 系统组成
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该系统由高密封手套箱、气体纯化妆置、除烟尘装置、水氧剖析仪等主要部件组成。

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