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一些对空气敏感、热稳固性较差的质料需要在真空、纯净的箱体情形中举行干燥处置惩罚 ,用于去除器件内部基板外貌的水或溶剂 ,或在特定温度条件下对敏感质料举行干燥/固化 ,真空加热系统是实现这些功效的最为经济有用的一款产品 ,最高温度可抵达180°C。


在对高细密光通讯、激光器、传感器器件举行同轴封装或蝶形封装时 ,不但需要密闭的惰性气体情形 ,同时还需要坚持箱体内的水氧含量小于5PPM ,为了维持水氧含量稳固坚持在划定的数值区间 ,就需要加装气体纯化系统 ,该系统能将手套箱内的气体不中止地循环 ,然后经由气体净化装备把手套箱体内的水氧和有机溶剂杂质除去。


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